‘옴’은 ‘신성하다’라는 뜻을 지니고 있는 진언입니다. 대승경전의 수호국계주다라니경에서는 ‘옴’을 법신·보신·화신 등 삼신을 나타낸 것이라고 말합니다. 또 ‘옴’자를 관할 것을 권하고 그 공덕으로 무상보리를 이룰 수 있다고 말합니다. ‘훔’은 이구청정(離垢淸淨)이라 해서 더러움을 벗어난 청정한 진리의 세계, 곧 번뇌망상이 사라진 상태를 말합니다.‘사바하’는 많은 진언의 내용을 결론 짓는 종결의 의미로 사용됩니다. ‘원만하게 성취한다’라는 뜻으로 다른 진원의 끝에 함께 붙여서 ‘원하는 바가 이루어지소서’라는 성취의 뜻을 담고 있습니다.